プロセス装置
CIGS成膜システム―システム

特長：

• VeecoのPV-シリーズ熱蒸着発源を活用
• 1.1m x 1.4mのガラスパネルを1時間あたり最大30枚処理可能
• スケーラブルな成長用モジュール式アーキテクチャ

利点：

• ガラス 基板上におけるCIGS成膜の量産に対応した装置構成
• MBEで実績のあるVeecoの熱蒸着源ノウハウの応用
• 低コストのオーナーシップ生産が可能

特長：

• スパッタリング、反応性スパッタリングおよび熱蒸着を統合可能なフレキシブルな装置構成
• 最適なプロセス条件の実現を可能にする、各種条件を設定可能な蒸着エリアのレイアウト
• 蒸着材料の効率的な利用と優れた膜厚の均一性

  利点：

• Veecoの実績のあるPV-シリーズ熱蒸着ソースを統合
• 幅 > 350mm で、金属基板に対応可能な蒸着
• 表面プレ洗浄機能およびポンプ構成のオプションを選択可能
• 50年以上、薄膜に専門的に取り組んできた、業界をリードする装置サプライヤー