プロセス装置
ダイヤモンドライクカーボン蒸着―システム

特長：

• 業界初の生産価値のあるパルスろ過陰極アーク
• 長距離、低圧PVD
• 反応性PVDプロセス能力
• 調整可能な低エネルギーNEXUS420イオンビームエッチソースで安定操作
• 傾斜エリプソメータで、エッチングおよび蒸着エンドポイント制御を促進

利点：

• 優れた均一性、再現性および膜硬度
• 濃厚で、ピンホールのないケイ素シード層を提供
• よりよいプロセス収率に向けて段階被覆率を改善
• より長く継続するスライダーオーバーコートおよびランディングパッド