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イオンソース
グリッドレス アノードレイヤイオン ソース―システム
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イオンソース
主な特長：
- 大量、低メンテナンスの動作用に設計
- 100～1800eVのビームエネルギーをサポート
- 最大30mA/リニアcmまでのビーム電流に対応
- 多様な薄膜へのアプリケーションに最適なソース
主な特長：
- 大量、低メンテナンスの動作用に設計
- あらゆる不活性気体と反応気体で、グリッドレスおよびフィラメントレスの動作に対応
- 多様な薄膜へのアプリケーションに最適なソース
主な特長：
- 大量、低メンテナンスの動作用に設計
- あらゆる不活性気体と反応気体で、グリッドレスおよびフィラメントレスの動作に対応
- 多様な薄膜へのアプリケーションに最適なソース
主な特長：
- 大量、低メンテナンスの動作用に設計
- あらゆる不活性気体と反応気体で、グリッドレスおよびフィラメントレスの動作に対応
- 多様な薄膜へのアプリケーションに最適なソース
