プロセス装置

イオンソース - システム

Veecoは、イオンビーム技術の世界的なリーダーであり、非常に広範囲のイオンソース製品ラインを提供しています。当社には次のような技術があります: 直流（DC）、RF、陽極層、エンドホールおよび円筒形マグネトロン

Veecoは、卓越したイオンビームグリッド光学技術により、エッチングとアライメント装置用の世界で最も平行で均一なイオンビームを生み出してきました。さらに、Veecoは大面積イオンアシスト蒸着用の高度拡散イオンソースも開発しました。当社の製品スペシャリストにお問い合わせいただき、貴社のアプリケーションに最適のソリューションを選択してください。

グリッド付きDCイオンソース

VeecoのDCイオンビームソースは、円状または線形幾何形状で、取付、洗浄や維持が簡単です。

グリッド付きRFイオンソース

VeecoのフィラメントレスRFイオンソースは、100%アルゴン、酸素またはその他反応気体を使う処理に最適で、低メンテナンスコスト、高い信頼性、長期パフォーマンスを提供します。

グリッドレス陽極層イオンソース

Veecoの高出力陽極層イオンソースは、Ⅲメートル超過の場合、円状またはリニア幾何形状でスケーラブルで、高真空から最大圧力幅まで高電流濃度操作が特徴です。

グリッドレスエンドホールイオンソース

集中磁場および大きなエレクトロン電流を使って、Veecoの低メンテナンス、グリッドレスイオンソースは、グリッド付き源で実際より低エネルギーで非常に高電流濃度を生成します。

マグネトロン

Veecoは、Isoflux円筒形マグネトロン（ICM）により広いイオンビーム体験ができます。これらのスパッタリングソースは、円筒形対象物を使用して、サブストレートをコーティング素材で覆います。