LED - ニュースとリソース

主要な LED 製造開発の場面で常に最先端を行くには、LED 製造向け MOCVD プロセス機器の世界的リーダーである Veeco 社の技術的リソースと製造に関する見識をご活用ください。

独自の TurboDisc テクノロジーによる生産性向上

Veeco 社独自の技術は、他に類のないラミナーフローリアクター設計と自動化ホットキャリア移動を組み合わせて、LED のノンストップ生産と優れた収率の面で業界標準を打ち立てます。
TurboDisc K465i GaN MOCVD システムのアニメーション

Uniform FlowFlange®: ウェハーキャリアに対して、均一なアルキルガスと水素化物ガスを交互に流すことを特徴とします。
RealTemp® テクノロジー: RealTemp 温度制御は、高精度な測定を目的とし、プロセスのリアルタイムな監視と制御を実現します。
DTR-210™ 現場プロセス監視: MOCVD GaN エピタキシャル成長中のそり測定、反射率測定、および温度計測を組み合わせて、均一性と再現性に優れた成長サイクルを実現します。

LED リソース

LED 大量生産のポッドキャスト
LED 生産の最新動向（5.83 MB 6:20 分）
TurboDisc K465i: 収率の向上を目指して（4.07 MB 4:28 分）

アプリケーションノート
In-Situ でのそり測定を GaN MOCVD に採用して開発時間の短縮と製品収率の最適化を実現 - [416 KB PDF]