ワイヤレス

Wireless デバイス生産の推進

材料研究用システムの構築で培った Veeco 社の経験は、生産レベルの化合物半導体製造に革新と低コストでの確かな生産性を実現しています。システムの自動化と各種蒸発ソースは、無線ネットワークやオプトエレクトロニクスの新技術向けに、新しい材料だけでなく、従来の III～V 族および II～VI 族の材料での成長も可能にします。

当社のプロセス統合センターでは、具体的な生産実績も得られるようになってきました。ここでは、新たな材料や用途でプロセスを研究規模から生産規模に拡大する際に、そこで発生する課題を解決するうえで効果的な専門知識を提供しています。

• GEN2000 などの業界有数の分子線エピタキシー （MBE） システムでは、ウェハーあたりのコストを極限まで抑えることができます。
• 成長モジュールを複数設けることで、スループットの向上や、混合できない材料の処理を可能にします。
• ウェハー処理の自動化により、MBE のセミスタイル生産を効率化することができます。
• メンテナンスの容易化により、稼働率を最大にします。
• 成長モジュールでは、3 インチ、4 インチ、6 インチ、または 8 インチのウェハーを処理できます。
• 信頼性と再現性に優れた結果を得るための厳格な運用基準で設計されたコンポーネントとソース
• 先進的なプロセス統合センターでは、新たな応用に対するソリューションをお客様が探求する際のお役に立つ専門技術を提供しています。

無線用途向けプロセス機器

Veeco 社は、MBE とイオン ビームのシステムとコンポーネントを扱う世界有数のサプライヤとして、これからお客様が手がける材料、プロセス、およびデバイスの開発を今すぐにお手伝いできる体制を整えています。