エピタキシャル装置: MOCVD システム

TurboDisc K465i GaN MOCVD システム

最高の生産性と同クラスで最高の収率

TurboDisc® K465i™ GaN MOCVD システムは、Veeco の K シリーズプラットフォームに加わった最新の製品で、生産現場での実証を経ており、世界各地の HB LED 量産工場に生産性の向上をもたらします。 K465i は、高い均一性と卓越したラン・ツウ・ラン再現性により、最高 90%の収率（5nm bin）を達成します。また、完全な自動化とメンテナンス後のリカバリー期間の短縮により、業界で最高水準の生産性をもたらします。

説明

TurboDisc K465i GaN MOCVD System

詳細情報

業界で最高水準の資本効率を最高の生産性と同クラス最高の収率に結びつけます。
生産現場での実績がある高スループットの K465 プラットフォーム
新たな Uniform FlowFlange® テクノロジーの採用により、ウエハ内の均一性が極めて高く、プロセスの再現性も最高の水準
簡素化された設計により、迅速な生産認定およびメンテナンス後の迅速なリカバリーが容易
メンテナンスコストの低い TurboDisc® テクノロジーにより、最高のシステム可用性を実現
最低の所有コストで最大の収益性

Veeco、TurboDisc K465i GaN MOCVD システムを発表

仕様の詳細については Veeco までお問い合わせください