エピタキシャル装置: MOCVD システム

化合物半導体デバイスの最大規模の量産のために開発されたVeecoのTurboDisc® K475™ As/P MOCVD システムは、競合するMOCVD技術では達成できないレベルのプロセスコントロールと信頼性を提供します。  K475 を利用することにより、トリプル ジャンクション太陽電池の大量生産における信頼性を高めることができます。  この堅固なシステムは、ウエハ温度の直接制御、およびインターフェイスの唐突さを厳密に制御するガス高速スイッチングのための RealTemp 200 テクノロジーが組み込まれているため、高効率太陽電池には欠かせない、非常に高い材料品質と処理効率を実現します。  コンセントレータ太陽電池変換効率 40% を達成した技術を生かした TurboDisc K475 は、業界で最も高いアップタイムと最低の所有コスト、ならびに最高のスループットを実現します。  さらに、モジュール設計によりメンテナンスが容易で、将来のアップグレードを可能にするプラットフォームとしても便利です。