エピタキシャル装置: MOCVD システム

Veeco Discovery D180 GaNで、UV LED、青色スペクトクル レーザー、電界効果トランジスタ（FET）など、先進のGaNベース装置の実績ある利点をご利用ください。Al含有化合物の問題にも対応できます。本製品は、高品質GaN 蒸着の成長率を挙げるのに最適です。また、稼働の合間のチャンバーの状態を安定させ、ウエハ上の堆積物を最小に抑えます。 D180 GaNは、 統合的なRealTemp^® 200in-siteウエハ温度測定により、再現性を最大限に活用できます。