エピタキシャル装置: MOCVD システム

Veecoの高容量E450 AsP 有機金属化学的気相成長装置（MOCVD）生産システムで、HB-LED、三重会合点太陽電池、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ（HBTs）、高周波トランジスタ（pHEMTs）の、信頼性の高い量産を達成します。 本装置は、低い所有権コスト、厚さとドーピング、構成の優れた均一性、さらに、蒸着テクノロジーの最新技術をお届けします。 その他の利点として、厚さ、ドーピングおよび構成の並外れた均一性を生みだすための、垂直成長チャンバー構成を利用した、卓越したTurboDisc^®技術が挙げられます。