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エピタキシャル装置: MOCVD システム

TurboDisc E475As/P MOCVD システム

TurboDisc E475As/P MOCVD システム
高級デバイスの量産が可能

Veeco TurboDisc® E475 As/Pを使用して、HB-LEDs、レーザー ダイオード、高周波トランジスタ(pHEMTs)、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBTs)、III-V集光型太陽電池の量産のための、業界トップレベルのスループットを実現してください。 この優れた有機金属化学的気相成長(MOCVD)装置により、従来装置よりも生産量を高め、所有権コストを削減することができます。 本E475装置は、製品の品質、生産力、生産量を向上させ、容易にE450 As/Pへアップグレードすることができます。

TurboDisc E475 As/P MOCVD システム
  詳細情報
 
  • 業界をリードするスループットを、HB-LED、集光型太陽電池、レーザーダイオード、高周波トランジスタ(pHEMTs)、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBTs)の量産に利用可能
  • 長い生産サイクルと最高の生産性を実現する、高機能の真空負荷ロックオートメーション
  • 統合的なRealTemp® 200 技術により、ダイレクトで自動クローズドループ ウエハ温度制御を実現―プロセス再生産性を保証
  • FlowFlange®は、個別の流量適合に不連続注入ゾーンを提供し、優れた均一性と再現性を提供

  仕様の詳細については Veeco までお問い合わせください

 

 

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