エピタキシャル装置: MOCVD システム

新しいVeeco TurboDisc® K465 GaN MOCVD ）システムは、TurboDiscリアクター技術を通じて、業界一のスループットと、唯一、生産実績のあるMOCVDプラットホームを提供し、GaNベースの青色/黄色LEDと青色レーザーの大量生産を実現します。 再構成可能なリアクターおよびソースモジュールは、多様なウエハ リアクター技術を取り入れることができます。 完全自動化された高処理能力システム、K465は、長い資本寿命を得る拡張可能なプラットホームを提供します。