エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

自動の分子線エピタキシー（MBE）プラズマソースの動作は、VeecoのUNI－Bulbプラズマソースオートチューナーにより実現可能です。これは、たとえ動作条件が頻繁に変更されたとしても、最適なプラズマソース条件を自動的に調整および維持します。 ご好評いただいているVeecoマニュアル チューナーと直接交換できる本チューナーは、既存の電源を使用でき、また、UNI－Bulbの安定性、再現性および高いエネルギー効率のため、酸化物および窒化物サンプル作製における優れたマテリアル供給を実現します。