エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

Veeco SMC-II シリーズのグロースステージ ポジショナー（GSP）は、Veeco 製マニピュレーターと合わせて、光学式エンコーダからの位置データのフィードバックによるクローズドループ制御により、非常に精密で再現可能な基板の位置およびローテーション動作を実現します。 基板制御操作は、自動リモート通信またはローカル手動制御によってコントロールできます。 簡単に行える成長制御ソフトウェアとの統合によって、無人のサンプル作製が可能になります。