エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

白リンが酸素に非常に反応するため、Veecoのリン回収システム（PRS）は、メンテナンスおよびソースの交換のために分子線エピタキシー（MBE）装置を開ける前に、成長モジュールからの白リンをトラッピングし中和する、安全で効率的な方法を提供します。 このプロセスは、Veeco Molly®成長制御ソフトウェアにより、制御され厳重にモニターされます。

Veecoのリン回収システム（PRS）には、大量または少量の製造環境に適合する2つのモデルがあります。