エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

Veecoの包括的に統合されたMolly^®成長制御ソフトウェアおよびLot Manager^TMスケジュール管理ソフトウェアにより、高機能のレシピ制御およびモニタリングと成長プロセスの自動化を実現します。 本ソフトウェア制御ソリューションは、分子線エピタキシー（MBE）装置の研究および生産用に設計されており、Lot ManagerがMollyと連動して、自動ウエハ移送制御を行います。