MBE ソース
ドーパント― システム

特長：

• コンパクトで小さい熱質量
• 比較的低いフラックスの正確で安定した制御用に最適化
• 円錐形るつぼは、ビームコリメーションを避けるための大テーパーアングルが特長
• 高効率セル加熱

利点：

• 正確で、再現性の高いMBEプロセスの実現
• 最先端のドーピングプロファイル用に強化された再現性と、素早い安定性
• プラテン全体にわたる優れたフラックス均一性
• 複数のドーパントが、単一ソースポートから使用可能

特長：

• 大型導入管およびディフューザーエンドプレート
• 安定したソース加熱のバンド式ヒーター
• 単一取付フランジ上で、原子水素ソースまたは5ccドーパントソースと組み合わせ可能
• 気体インジェクターは、ソースまたは水素クラッキングフィラメントで加熱

利点：

• 熱プレクラッキングなしで気体を導入する低コストな方法を提供
• 優れた成長均一性
• 熱プレクラッキングが不要なCBr₄、NH₃、およびその他気体用の気体インジェクターに最適
• プロセスの多用途性の拡大と、MBEシステム機能の拡大