エピタキシャル装置: MBEシステム

実績のあるプラットホームにおける最も経済的で柔軟性のあるクラスタツール装置により、最高3つまでの構造化可能な、材料に特化した成長モジュールが可能になります。 これにより、有効なシステム利用が可能となり、複数の研究者が同時にシステムを使用し、無人で成膜およびキャリブレーションができるようになります。 これを Veeco コンポーネント技術に結び付けることが、MBE コミュニティがアプリケーションの如何にかかわらず GEN10 を選択する理由の重要な要素となっています。