エピタキシャル装置: MBEシステム

VeecoのGEN200 Edgeは、現在の市場で最も費用効果的でキャパシティの高いマルチ-4インチ生産MBEシステムです。 本装置は、ポンプレーザー、面発光レーザーおよびヘテロ接合バイポーラトランジスタ（HBTs）のような装置用のGaAsまたはInPベースのウエハ成膜において、優れたスループット、長い稼働時間、優秀なウエハ品質をお届けします。