GEN2000 エッジ プロダクション MBE システム
ウエハ 3x8インチ、7x6インチ、14x4インチ、23x3インチ
GEN2000は、より優れたスループット、より長い稼働時間、より小さいフットプリント、およびクラスターツール ウエハ処理を提供します。 ヘテロ接合バイポーラトランジスタ (HBTs)と高周波トランジスタ(pHEMTs)のようなワイヤレス テレコミュニケーション装置の大量生産、および所有コストが低く、マルチ-6インチ生産を必要とする新しいアプリケーションに最適です。
GEN2000 エッジ生産 MBE システム
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詳細情報 |
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- ウエハにつき、業界最低コストを実現
- 優れた設計により、 類似するMBEツールより、40%~60%小さいフットプリントを実現
- モジュラーアーキテクチャにより、最大2つの成長モジュールが可能で、スループットの増加、または互換性のない材料の処理が実現
- 簡単なメンテナンスでアップタイムを最大化
- オプションのバルクヘッドを取り付けることにより、無菌室スペースが最適化
- 業界でもっとも革新的で、信頼できるシステムハードウェア、ソースおよび成分を搭載
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仕様の詳細については Veeco までお問い合わせください |
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