エピタキシャル装置: MBEシステム

Veeco GEN930は、窒化物および酸化物アプリケーション用の直接ポンプカップリングと共に、III－V またはII－VI原料の開発に最適です。 モジュール設計により、費用効率が高く、柔軟性のあるソリューションとなっており、実証済みの優れた材料品質を実現します。 また、オプションの成長プロセスの in-situ モニタリング用分析装置も、ご依頼に応じて簡単に組み込むことができます。