エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

Veecoの加熱ビューポートは、分子線エピタキシー（MBE）装置内の光学ポートへのマテリアル堆積を防止し、従来のビューポートでは実現できなかったin-situモニター技術を使用した結晶成長の継続的でリアルタイムなフィードバック制御を可能にします。 加熱ビューポートにより、ヒ素原料から昇華し、従来のビューポートをコーティングするAs4を取り除くために、装置を換気する必要性がなくなります。