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MBE ソース
低温―システム
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ニュース&最新情報
特集・アプリケーションノート:
における進捗:発光ダイオード向け及び高電子移動度トランジスタ向けGaN成長(PDF: 2.0 MB)
一般情報―エピタキシー
最新ニュース
:
Veeco が
5台のMBEシステムを受注
イベント予定
:
2009年8月9日~8月12日
NAMBE 2009
ニュージャージー、プリンストン大学
E ニュースレターを購読する
MBE ソース
アンモニア耐性ソース―より高いアップタイム用の耐腐食性装置
製品の詳細
特長
:
耐腐食性設計
SUMOるつぼのオプションを選択可能
補完的な耐腐食性
基板ヒーター
利点
:
成膜期間の延長
低下した修理・補修コスト
最適なフラックス分布
マテリアル減少に伴う変動の最小化
酸素耐性ソース―より高いアップタイム用の耐腐食性装置
製品の詳細
特長
:
耐腐食性設計
SUMOるつぼのオプションを選択可能
補完的な耐腐食性
基板ヒーター
利点
:
成膜期間の延長
低下した修理・補修コスト
最適なフラックス分布
マテリアル減少に伴う変動の最小化
ヒ素バルブ付きクラッカー―業界標準のヒ素ソース
製品の詳細
特長
:
大容量とクラッキング効率最適化のためのバルブ配置
ニードルバルブで、優れた操作を実現
統合探針ノズルで、磁束制御を最適化
クラッキング ゾーンの温度調整により、As
4
ビームまたはAs
2
ビームを生成
利点
:
特許取得済みの優れた設計
固体ソースの安全性と気体ソースの利便性の両立
ほぼ即時のフラックス調整と、完全なフラックスシャットオフが可能
マテリアルロスを最小限に抑えつつ、優れたフラックス均一性
経済的な操作
リンバルブ付きクラッカー―最も投資効率の高いリンソリューション
製品の詳細
特長
:
ソースマテリアルがin-situで変換できるように設計されたマルチゾーンるつぼ
個別に加熱された熱制御と、空気冷却システムが連動
高融点金属製ニードルバルブ
利点
:
最も効果的で安全なリン蒸発ソリューション
迅速で信頼できるフラックス制御
効率的なフラックス調整およびシャットオフ
高温でのアウトガス処理および独自設計のるつぼにより、サンプル品質を最適化
耐腐食シリーズバルブ付きクラッカー―現在唯一実証済みの耐腐食性バルブ付きクラッカー
製品の詳細
特長
:
Sb、Te、Cd、CdTe、Zn および Mgに対応する、オールPBN 製耐腐食性設計
マテリアルのローディングが簡単な、取り外し可能なバルブメカニズム
統合探針ノズルで、磁束制御を最適化
必要に応じてクラッキング無しのモードでの運用が可能
利点
:
特許取得済みの優れた設計
従来のソースでは実現不可能な、複雑なサンプル構造を生成
即時のフラックス安定化、迅速なシャットオフおよび優れた再現性が可能
マテリアルロスを削減
セレニウムバルブ付きクラッカー―世界の優れたII-VI 研究グループが使用
製品の詳細
特長
:
耐腐食性設計
複数の加熱ゾーンがあるため、分解済または未分解の磁束を生成可能
ニードルバルブで、優れた操作を実現
統合探針ノズルで、磁束制御を最適化
利点
:
特許取得済みの優れた設計
ほぼ即時のフラックス調整と、完全なフラックスシャットオフが可能
優れた磁束安定と反応
最小のマテリアルロス
経済的な操作
青色/緑色LEDおよびレーザーダイオードデバイスの生産に最適
硫黄バルブ付きクラッカー―世界各地の先端II-VI 研究グループが使用
製品の詳細
特長
:
耐腐食性設計
複数の加熱ゾーンがあるため、分解済または未分解のフラックスを生成可能
ニードルバルブで、優れた操作を実現
統合探針ノズルで、磁束制御を最適化
利点:
特許取得済みの優れた設計
ほぼ即時のフラックス調整と、完全なフラックスシャットオフが可能
優れた磁束安定と反応
最小のマテリアルロス
経済的な操作
青色/緑色LEDおよびレーザーダイオードデバイスの生産に最適
SUMOソース―低温蒸発用に最適な高性能ソース
製品の詳細
特長
:
デュアルフィラメントホットリップ加熱
円筒形の本体とテーパーのついた開口部付きPBNるつぼ
るつぼ制限インサートのオプション
利点
:
低動作温度で最適パフォーマンス
リップでの凝縮を防止する、るつぼ形状およびヒーター設計
長時間のフラックス安定性
最小限のシャッター開閉影響
最高のサンプル品質
デュアルフィラメントソース―よりよい性能、よりよい制御
製品の詳細
特長
:
2つの独立したるつぼ加熱フィラメント
付属の耐熱シールド
PBNるつぼ
利点:
るつぼリップでの凝縮を軽減
低動作温度で最適パフォーマンス
迅速なフラックス安定化
優れた長期間のフラックス安定性
シングルフィラメントソース-性能がよく、経済的な価格
製品の詳細
特長
:
るつぼ開口部のホットリップ加熱
付属の耐熱シールド
利点:
安価
迅速なフラックス安定化
優れた長期間のフラックス安定性
るつぼリップでの凝縮を軽減
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