エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

リンバルブドクラッカーセル温度コントローラー

正確で安定した、フラックス不安定性の制御

Veecoリンバルブ付きクラッカー温度コントローラーは、従来および現行のリン用Veecoバルブドクラッカーと連動します。コントローラーは、成長中のフラックス不安定を取り除くように、正確な一定の白リンゾーン温度の確保を容易に行います。

リンバルブドクラッカーセル温度コントローラー		詳細情報

白リンゾーン温度を±0.05°C以内に、フラックスの変動<±1%以内に維持すべてのVeecoリンバルブ付きクラッカーと適用可能水温、気温および気流による、リンフラックスの不安定化を解消		仕様の詳細については Veeco までお問い合わせください