エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

PID 温度コントローラー付き直流（DC）電源

多用途なMBE出力と温度制御

分子線エピタキシー装置（MBE）用のVeecoの直流電源製品ラインアップには、ソースと基板ヒーターの精密で信頼性の高い操作が行われるよう統合されたPID温度コントローラーが含まれます。クローズドループ制御による温度または出力フィードバックで、電源は優れたフラックス安定を提供し、スタンドアロンもしくはスタック構成で使用可能です。 Veecoの直流電源は、すべてのVeeco蒸着セルに適用可能です。

説明

PID温度コントローラー付き直流（DC）電源

詳細情報

直流電源セット一式には、正確で信頼できるMBEソースおよび基板ヒーターの操作が行われるための、統合PID温度コントローラーが付属
クローズドループ温度または電源フィードバックを使った優れた磁束安定性
スタンドアロン電源またはスタック構成で使用され、より厳しい電源要件を満たします。
すべてのVeecoの噴散セルと互換性があり、柔軟性とアプリケーション適合性が強化
すべての主要な規制コンプライアンス基準に関して認証済：4年間の部品およびサービスの保証でバックアップ

仕様の詳細については Veeco までお問い合わせください

データシート

PID温度コントローラー付き直流（DC）電源
低解像度【79 KB PDF版】