エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

Veecoの多目的な分子線エピタキシー（MBE）シャッターコントローラーは、Veeco分子線エピタキシー（MBE）装置用蒸着セル、ソースフランジ、インテグラル シャッターの、シャッター位置（開/閉）を指示します。 装置に追加された適応性として、マニュアルまたはリモートで制御可能で、各シャッターのコントローラは空気分配システムと組み合わせることができます。 ソレノイドにより駆動される2ウェイ マニホールドにより圧縮空気分配が可能になり、開閉圧力が個別に調整されます。