エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

分子線エピタキシー（MBE）装置のビームフラックス制御を行うインテグラルシャッターの代替品として、高速作動するVeecoのリニアモーションシャッターをご利用ください。 本シャッターは、長い耐用年数（百万サイクル以上）を提供するために制振されており、動作はべローズシールと空気圧により作動し、シャフトは空気圧アクチュエータの詰まりを防止するよう保護されています。