エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

Veecoソースフランジ付き超高真空（UHV）リアクターに、分子線エピタキシー装置（MBE）型蒸着性能を追加できます。 フランジは、様々な分子線エピタキシー（MBE）ソースおよびアプリケーションとの互換性があり、今日最も一般的に使用されているものも含め、様々なソースフランジスタイルをと揃えています。 様々なオプションにより、柔軟性を向上させることができます。