エピタキシャル装置

MBE プロセスにおけるドーパント導入のためにフラックスを正確に安定的に制御するため、あるいは熱分解が必要ない経済的なMBEガスソースのため、にはVeecoのドーパント用製品は最適です。。

最高2000ºCまでの高温で動作可能な、信頼性の高いMBEソース―Veecoの信頼性と実績のある高温ソースが様々なサイズでご利用いただけます。

Veecoの低温エピタキシャルソースにより、幅広いMBEアプリケーションに対応する、正確で安定した低温エピタキシャルソースの性能を実現します。

Veeco製品のラインアップには、特殊ホットリップSUMOソースから熱蒸着用の経済的な標準フィラメントまで、実質的にあらゆるアプリケーション用の中温MBEソースを取り揃えています。

Veecoの実績のある特殊ソースにより、特殊化したMBEガスソースのニーズに対する幅広いソリューションを見つけ出してください。