エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

基板ヒーター

特定の温度および成長環境用に調整

Veecoは、特定の温度や成長条件用に設計された、アプリケーションに特化した基板ヒーターを提供しています。標準的な設計は、PBN（プラズマブリッジネトラライザ）拡散プレートと、断面の均一性と効率的な電力消費を提供する、精緻なワイヤフィラメントを利用します。

MBE 基板ヒーター

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