エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

Veeco UNI-Block基板ホルダーにより微粒子生成を最小化し、同じホルダーリング内で基板の全体または一部をより素早く取り付けることができます。 ワイヤおよびクリップを取り付ける必要はなく、本システムの設計は、粒子汚染を軽減します。 部分ウエハ、ディフューザープレート、およびウエハ後部への光学アクセスを提供する構造が入手可能で、UNI-Block基板プレートホルダーは、事実上すべての分子線エピタキシー装置（MBE）で利用可能です。