エピタキシャル装置: MBEコンポーネント

自動バルブポジショナー

精密で再現可能な自動化フラックス制御

Veeco SMC-IIシリーズ自動バルブポジショナーは、Veecoバルブ付きクラッカーと共に使用され、ソースニードルバルブを通じて、精密かつ再現可能なフラックス制御を提供します。サーボモーターを自動リモート制御またはローカルマニュアル制御することにより、バルブを作動させます。成長制御ソフトウェアと簡単に統合でき、SMCを無人で作動させられます。

説明

SMC-II シリーズ自動バルブポジショナー

詳細情報

費用対効果が高く、各種分子ビームエピタキシーへのアプリケーションに適合可能
Veeco バルブ付きクラッカーと共に使用され、ソースニードルバルブを通じて、精密で再生産可能なMBE磁束制御を提供
バルブは、サーボモーターの自動リモートコントロールまたはローカルマニュアル制御で駆動可能
既存の MBE 成長制御ソフトウェアと簡単に統合できるため、無人で作動可能

仕様の詳細については Veeco までお問い合わせください

データシート

SMC-II 自動バルブポジショナー
低解像度【256 KB PDF版】