プロセス装置: イオンビームエッチング

VeecoのNEXUS IBE-350Se イオン ビームエッチングシステムは、ヘッド浮上面のデイープキャビテイー処理と高エッチングレートのアプリケーションでの生産性向上に貢献します。 特徴としては、 低いCoO、高スループット、小フットプリント及びNEXUSプラットホームにクラスタ増設できるなどがあります。