プロセス装置: イオンビームエッチング

VeecoのNEXUS IBE-350Siイオンビームエッチングシステムで、改良されたプロセス制御、小さな設置面積およびフィールドアップグレード可能な設計を得ることができます。 改善された本システムは、より信頼性の高いプラットフォーム上で、同じイオンソース、グリッド、[fixtures]、ソースから基板への配列を、従来のRF350Sツールとして利用します。