プロセス装置: DLC 蒸着システム

VeecoのNEXUS DLC-Xシステムで、濃厚・均一で、再現可能なダイヤモンドライク カーボン（DLC）の薄膜を蒸着し、より長持ちするTFMHスライダーオーバーコートと着陸パッドを生み出します。 Nexus DLC-X は、sub-20A オーバーコートの厚さを可能にする業界初の生産価値のあるパルス式カソードアークソースを備え、旧世代に比べてよりよいプロセス収率を目ざし、段階被覆率の改善をサポートします。