プロセス装置: 物理蒸着

Veeco NEXUS PVD-1は単一ウエハ蒸着モジュールで、ご要求の簡易性、信頼性、そしてパフォーマンスにお答えします。 本システムは幅広いウエハサイズに適応し、磁性材料と同様、酸化物や窒化物の蒸着など、様々なデータストレージ アプリケーションに適応します。 また、半導体、GaAs、およびパッケージングアプリレケーションにも、高性能で高い費用効果で対応します。