プロセス装置: 物理蒸着

Veecoの高速アルミナNEXUS PVD-HR蒸着システム は、優れた膜厚均一性と、ターゲット腐食のない高い再現性のバッチ蒸着プロセスが可能です。 NEXUS PVD-HR アークフリーとピンホールフリーの膜を形成できるよう設計され、また小フットプリントですので低CoOに貢献します。