プロセス装置: 物理蒸着

NEXUS PVDi システム

柔軟な蒸着プラットフォームで多様なアプリケーションに対応

Veecoの単一ターゲット NEXUS PVDi 物理蒸着システムは、多様な薄膜蒸着アプリケーションに最大限の柔軟性を提供します。 NEXUS PVDiは200mmが可能で、先進のプロセス機能、卓越した均一性、多様な蒸着モードを特長とします。

NEXUS PVDi 物理蒸着システム

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