プロセス装置: ラッピング/ダイシングシステム

Optium ADS 160 先進ダイシングシステム

TFMHダイシング精度および処理量の向上

ウェハのスプリット/トリム、ロースライス、ダイシング、リリーフカットへのアプリケーションを対象とする、VeecoのOptium ADS 160先進ダイシングシステムは、薄膜磁気ヘッド用TFMHウエハ向けのダイシングプロセスの生産性および精度を向上させます。

Optium ADS 160 先進ダイシングシステム		詳細情報

プラットフォームは、 ESDに対して安全でSEMI-S22基準に従って構築ギャングブレード対応で、自動バー処理をサポート高速軸およびスピンドルの多彩なセレクション最大350 mmのプロセスカットエリアによる強固な構造オープンプログラミングとビジョンシステム（Windows GU、タッチスクリーン）自動化統合用に設計 TFMHプロセスツールの世界的なリーダーが設計および構築		仕様の詳細については Veeco までお問い合わせください