プロセス装置: ラッピング/ダイシングシステム

多様なダイシングへのアプリケーションに30年以上の経験を持つVeeco は、幅広いプロセスツールと装置を提供し、難度の高いアプリケーションに対処して生産を改善しました。  Veecoは、より高い処理量と品質をもたらすプロセスのための専門的なソリューションをを提供します。

特長と利点：

• 安定性が高く剛性のある鉄鋳物構造、複数ブレードの能力、および高性能空気軸受スピンドルが生み出す、優れた再現性の高い切断品質による、滑らかで高精度のモーション
• 最適化された高速のモーション位置調整が、パワフルなネットワーク制御技術による高速で効率的なダイシングサイクルと、単一または複数のブレードへのアプリケーション用の迅速な画像取得を実現
• 高性能スピンドル、特許権を有するツーリング、統合ブレードツルーイング、そして9インチまでの面積をモニターするアクティブなソフトウェアによって実現される、要求の厳しいプロセス用に設計されたソリューション

高性能スピンドル

これらのスピンドルは、低い調波、高い剛性およびトルク空気ベアリングを備えています。  Optium® ADS™-800 先進ダイシングシステムには、51mm～114mmのブレードサイズがあります。  スピンドルのセレクションには、単一および複数ブレードへのアプリケーションが含まれます。

オンラインブレードツルーイング―多くのアプリケーションにおける重要なステップ

• ‘真円とはいえない’状態のブレードに起因する、ワークピースへのブレードのハンマリングを除去
• 複数ブレードアセンブリへのブレード外径振動を除去
• 薄いテープ、最小半径の溝およびその他用にブレード面の方形プロファイルを維持