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ダイヤモンド状炭素システム
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  • NEXUS DLC-X 蒸着システム
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ダイヤモンドライク カーボン成膜の特性と利点

NEXUS DLC システム - 超硬耐食性 TFMH コーティング膜技術

製品の詳細

特長：

  • 業界初の生産価値のあるパルスろ過陰極アーク
  • 長距離、低圧PVD
  • 反応性PVDプロセス能力
  • 調整可能な低エネルギーNEXUS420イオンビームエッチソースで安定操作
  • 傾斜エリプソメータで、エッチングおよび蒸着エンドポイント制御を促進

利点：

  • 優れた均一性、再現性および膜硬度
  • 濃厚で、ピンホールのないケイ素シード層を提供
  • よりよいプロセス収率に向けて段階被覆率を改善
  • より長く継続するスライダーオーバーコートおよびランディングパッド
 
 
 
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