NEXUS IBD イオンビーム蒸着システム

ハードバイアス、絶縁層およびセンサ‐スタック蒸着に最適

Veeco第3世代NEXUS® イオン ビーム蒸着（IBD） システムは、80Gb/in²のセンサーの歩留まり向上と将来のTFMH デバイス製造の厳しいご要求にお答えします。

• 電流CIPからアドバンストCPP装置まで、幅広い装置に対応
• MRAMアプリケーションおよびGMRと TMR薄膜磁気ヘッドに最適
• すべてのコリメーテド蒸着へのアプリケーションに対する、 CD 制御を改善
• 蒸着柱の対称口から鋭い取り出しアングル
• プラットフォームは、PVD、IBE およびその他技術と簡単に統合されます。