SPECTOR 広範囲プラネタリー イオンビーム蒸着システム

スループットの向上と優れた材料均一性を実現

Veeco の SPECTOR® 大面積プラネタリ イオン ビーム蒸着システムは、電子ビーム蒸着装置に近いバッチ サイズで高品質のイオン ビーム薄膜を提供します。 より広くなった全体の成膜部分に加えて、堅固な固定治具により直径 400mm、厚さ 100mm までのモノリシック基板の処理をサポートします。 Veeco は独自の 16cm RF 高出力蒸着ソースと超低汚濁 RF ニュートライザを組み込むことにより、高い蒸着率とフィルム品質を実現しました。 最大の化学量論的制御と基質の基板の プロセス中 プレクリーニングまたはエッチ サポートのために、本システムは 12cm RF アシスト イオンソースも備えています。

• 業界をリードするスループットでのイオンビーム品質により、最低限の所有コストを実現
• 400mmの軌道全体にわたる優れた材料均一性により、最大製品収量を提供
• 大電流RFイオンソースにより、優れた蒸着率を提供
• 大型基板およびパレットサポートにより、最大の製品柔軟性を提供