NEXUS IBE-420i イオンビーム エッチング システム

CDシグマ制御の改善により、より高いデバイス生産歩留まりを提供します。

NEXUS® IBE-420i™ イオンビームエッチングシステムはデータストレージのデバイスイールドを向上し、優れたエッチング均一性を実現します。改善されたCDシグマコントロールは、データストレージ アプリケーション、新しいアプリケーションのTime to Marketに要する時間の短縮、インストール時間の短縮、良い資産利用と所有コストの削減を実現します。

• より厳しいエッチ深さ制御要件に対応するような設計です。
• NEXUSイオンソースは、優れたWIWおよび3Dエッチ均一性を提供します。
• 世界トップクラスの NEXUS ハードウェアとソフトウェアプラットフォームと簡単に ドック増設できます。
• 拡張制御システムによりNEXUSイオンソースは、優れた WTW および RTR 再現性を実現します。
• シングルまたはデユアルクラスター構成で提供できます。
• 現行のVeecoデバイスネットクラスタ－フロントエンドと互換性があります。