SPECTOR ロードロック イオン ビーム蒸着システム

様々なアプリケーションに対応可能な高いスループットと優れた再現性

Veeco の SPECTOR® ロードロック イオン ビーム蒸着システムは、多岐にわたるアプリケーションでスループットを大幅に引き上げることができます。 サブストレートのロードから 5 分以内に蒸着を開始できる SPECTOR ロードロック システムでは、バッチ ツールに必要な通常のプリプロセス手順よりも蒸着時間を短くした設計でスループットを容易に 2 倍にすることができます。 

圧力、温度、目標表面の組成、イオン ソース出力などのプロセス パラメータを安定した状態に維持する能力も、システムの再現性を後押ししています。 SPECTOR ロードロックは、RF ニュートラライザ、チャンバー ライナー、シールドなどの部品を外気や湿度にさらす頻度が低いので、これらの部品には長い平均メンテナンス間隔 (MTBM) が望めます。 これらの特徴と利点の組み合わせから、市場で入手可能な最高の精度と品質を備えた薄膜の製造をわずかなコストで実現できます。

• コーティング厚が小～中程度のアプリケーションでスループットを大幅に向上
• 本来的に安定したプロセス条件による優れた再現性
• 要所の各種部品に長い平均メンテナンス間隔を実現
• パーティクル抑制能力の向上