Optium ADS 160 先進ダイシング システム

TFMHダイシング精度および処理量の向上

ウェハのスプリット/トリム、ロースライス、ダイシング、リリーフカットへのアプリケーションを対象とする、VeecoのOptium ADS 160先進ダイシングシステムは、薄膜磁気ヘッド用TFMHウエハ向けのダイシングプロセスの生産性および精度を向上させます。

Optium ADS 160 先進ダイシング システム

• プラットフォームは、 ESDに対して安全でSEMI-S22基準に従って構築
• ギャングブレード対応で、自動バー処理をサポート
• 高速軸およびスピンドルの多彩なセレクション
• 最大350 mmのプロセスカットエリアによる強固な構造
• オープンプログラミングとビジョンシステム（Windows GU、タッチスクリーン）
• 自動化統合用に設計
• TFMHプロセスツールの世界的なリーダーが設計および構築