お客様に最適の MOCVD システムをお選びください。
TurboDisc MaxBright GaN MOCVD マルチリアクター システム
TurboDisc K475 As/P MOCVD システム
TurboDisc K465i GaN MOCVD システム
TurboDisc K465 GaN MOCVD システム
TurboDisc E475 As/P MOCVD システム
MOCVD システムの特性と利点
特長：
- Uniform FlowFlange® テクノロジーによる、卓越した均一性と再現性
- 集積小型クラスタ構成
- 最高レベルの容量構成
- 最高レベルのスループットを示すリアクター
- メンテナンス コストの低い TurboDisc テクノロジーにより、最高のシステム可用性を実現
利点：
- 最大限のコスト削減
- 最高レベルのスループット
- 最高レベルの設置効率
- 最高レベルの資本効率
- シングルチャンバーまたはマルチチャンバーでの層成長
- K465i からのスムーズなプロセス移管
- 最新技術でアップグレード可能
特長：
- モジュラー設計
- 調整可能な FlowFlange®
- 先進の RealTemp® 200 温度制御
- 包括的なウェハー キャリア ソリューション
- TurboDisc® 高速層流
- 統合的な真空負荷ロック
利点：
- 業界をリードするスループット
- 卓越した均一性と信頼性
- 高い再現性
- 特定ニーズに適合するオプション
- 低メンテナンスによる最高水準の生産性
- 最小限の非稼働時間
特長：
- Uniform FlowFlange® テクノロジーによる、卓越した均一性と再現性
- メンテナンス コストの低い TurboDisc テクノロジーにより、最高のシステム可用性を実現
利点：
- 生産現場で実証済みの GaN MOCVD システム
- 完全な自動化およびメンテナンス後に1回のみの実行で完了する復元期間により、業界最高レベルの生産性
特長：
- プラットフォームは、実績のある Veeco K300 MOCVD システムと共有 -- 高スループットを実現
- 先進のTurboDisc® リアクタ技術、高速薄板流量、およびクリーンな操作により、 in-situベークが不要
利点：
- GaN ベースの青色および緑色 LED と青色レーザーの量産で業界最高のスループットを実現
- 自動プラットフォームにより、資本コストを制御しつつ、HB-LED メーカーの収益拡大が可能
- 優れた生産収率、均一性および再現性
特長：
- マルチジャンクション III-V 集光型太陽電池、HB-LED、レーザーダイオード、pHEMT および HBT 量産向けの、業界をリードするスループット
- 低メンテナンスTurboDisc®技術で、最高のアップタイムを実現
- 統合的な RealTemp® 200技術に、直接ウエハ温度制御、高速気体スイッチ切替、および界面急峻性の厳密な制御が可能
利点：
- HB-LEDおよび集光型太陽電池の量産に最適
- 優れた材料品質とプロセス効率に加えて、生産性も一段と向上
- HB-LED および III-V 集光型太陽電池への高い投資収益率