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TurboDisc K465 GaN MOCVD システム

最高の生産量、最高の利潤性のための自動化

Veeco の TurboDisc® K465 GaN MOCVD システムは、生産現場において実証済みの唯一の自動 MOCVD プラットフォームであり、業界最高水準のスループットをお届けします。先進の TurboDisc リアクター技術により、GaN ベースの青色/緑色 LED および青色レーザーの量産に最高の能力を発揮します。再構成可能なリアクターおよびソースモジュールは、多様なウエハ リアクター技術を取り入れることができます。完全に自動化され、卓越した能力を誇る K465 システムは、長期の耐用年数により拡張が可能です。


  • GaNベースの青色/緑色LEDおよび青色レーザーに、業界最高のMOCVDスループットを提供
  • 自動プラットフォームで資本コストを管理しながら、HB-LED メーカーの利潤が増大
  • 独自のTurboDisc技術により、優れた生産収率を保証
  • 業界最高の生産性を誇る、ホットキャリア伝送付きの自動真空負荷ロックにより、最高のスループットを実現
  • 個別に流量合わせのできるFlowFlange®不連続注入ゾーンで、優れた均一性と再現性を実現
  • 温熱キャリア伝送システムは、リアクターが真空下にある場合、常に処理サイクル中に取り付け可能
  • 自動キャリア伝送システムは、稼働の合間の部品交換が不要
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