GEN10 自動研究開発 MBE システム

最大1x3インチのウエハ

実績のあるプラットホームにおける最も経済的で柔軟性のあるクラスタツール装置により、最高3つまでの構造化可能な、材料に特化した成長モジュールが可能になります。これにより、有効なシステム利用が可能となり、複数の研究者が同時にシステムを使用し、無人で成膜およびキャリブレーションができるようになります。これを Veeco コンポーネント技術に結び付けることが、MBE コミュニティがアプリケーションの如何にかかわらず GEN10 を選択する理由の重要な要素となっています。

• 自動ウエハ移送により有効なシステム利用が可能となり、複数の研究者が同時にシステムを使用し、無人で成膜およびキャリブレーションを行うことが可能
• 最大3つの成長モジュール追加への経済的なアップグレートパス
• クラスターアーキテクチャの特性から、材料に特化した成長モジュールを設定することにより、異なる材料による成膜を同時に行うことが可能。
• 大量生産MBE システムへの直接移行が可能