GEN2000 エッジ プロダクション MBE システム

ウエハ 3x8インチ、7x6インチ、14x4インチ、23x3インチ

GEN2000は、より優れたスループット、より長い稼働時間、より小さいフットプリント、およびクラスターツール ウエハ処理を提供します。ヘテロ接合バイポーラトランジスタ （HBTs）と高周波トランジスタ（pHEMTs）のようなワイヤレス テレコミュニケーション装置の大量生産、および所有コストが低く、マルチ-6インチ生産を必要とする新しいアプリケーションに最適です。

• ウエハにつき、業界最低コストを実現
• 優れた設計により、 類似するMBEツールより、40%～60%小さいフットプリントを実現
• モジュラーアーキテクチャにより、最大2つの成長モジュールが可能で、スループットの増加、または互換性のない材料の処理が実現
• 簡単なメンテナンスでアップタイムを最大化
• オプションのバルクヘッドを取り付けることにより、無菌室スペースが最適化
• 業界でもっとも革新的で、信頼できるシステムハードウェア、ソースおよび成分を搭載